机型\项目 |
TG—10-12 |
TG—14-16 |
TG—20-24 |
TG—26-30 |
TG—32-36 |
TG—36-40 |
镀膜室规格 |
? 1300-1600*1500-1750mm |
? 1400-1600*1600-2200mm |
? 1500-1600*3500mm |
? 1800-1900*3600mm |
? 2000-2300*3600mm |
? 2300-3000*3000-3600mm |
极限真空度 |
≤7.6×10-4Pa |
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冷态抽真空时间 |
从1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分钟 |
|||||
机组配置 |
KT-600扩散泵机组 |
KT-630扩散泵机组 |
KT-800扩散泵机组 |
2套KT-800扩散泵机组 |
2套KT-1000扩散泵机组 |
2套KT-1000扩散泵机组 |
蒸发源配置 |
10 |
12 |
20 |
24 |
32 |
40 |
配电要求 |
60KW |
80KW |
120KW |
160KW |
180KW |
230KW |
厂房要求 |
一层总高6.5米 |
一层总高6.5米 |
一层总高6.5米 |
二层总高9.2米 |
二层总高9.5米 |
一层400平方米 |
Tel:
Tel:
Tel:
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