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XCTG-5+1 |
XCTG-6~9+2 |
镀膜室规格 |
∮700~800mm×800~880mm |
∮900~1000mm×1000~1200mm |
极限真空度 |
≤7.6×10-4Pa |
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冷态抽真空时间 |
从1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分钟 |
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机组配置 |
KT-400扩散泵机组 |
KT-400/ KT-500扩散泵机组 |
靶配置 |
5个电弧靶1个磁控靶 |
6-9个电弧靶2个磁控靶 |
配电要求 |
KW |
KW |
设备用途 |
适用于各类工具镀镀膜要求,可镀制DLC、TiN、TiCn、CrN、AlTiN、CrAlTiN等功能膜层 |
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备注 |
可根据用户产品、产量、膜层特殊要求设计制造非标**设备。可加装磁控靶、中频孪生对靶等。 |
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