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XCTG-6 |
XCTG-8 |
镀膜室规格 |
∮1200×1000~1200mm |
∮1200~1900mm×1200~1300mm |
极限真空度 |
≤7.6×10-4Pa |
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冷态抽真空时间 |
从1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分钟 |
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机组配置 |
分子泵F2500 3台 |
分子泵F4000 2-4台 |
靶配置 |
6个弧源 |
8个弧源 |
配电要求 |
KW |
KW |
设备用途 |
适用于手机壳、手表、高尔夫球具等行业高品质镀膜要求 |
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备注 |
可根据用户产品、产量、膜层特殊要求设计制造非标**设备。可加装磁控靶、中频孪生对靶等。 |
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