一:镀膜机膜厚在线监控仪的参数
1.测试波长:根据客户需要选择,目前有如下的选择:
l 红外线:850 nm(默认选项,抗干扰能力强)
l 可见光:白光 380nm-760nm
l 绿光: 530nm
2.透过率测量精度:优于±1%
3.透过率分辨率:0.005%;
4.光密度测量范围:0.00 OD - 5.00 OD
5.光密度的分辨率:
0.01 for 0.00 - 3.00 OD
0.05 for 3.00 - 5.00 OD
6.**大测量点数:32点
7.相邻探测头之间距离:**小70mm
8.发送接收探头之间距离:20mm
9.温度范围: -20°C --- +70°C
10.数据刷新周期:300ms
11.仪器整体尺寸: 100mm(宽)*230mm(高)* 长度(根据客户要求定制)
12.需真空法兰电极芯数:6根(不配电脑监控),9根(配电脑监控)
13.电源:220V AC/50Hz
14.通讯:双路RS485
二:仪器特点
1. 一体化设计,结构简单,现场安装维护方便
2. 防尘设计
对于镀膜过程中的粉尘(如镀铝过程)会影响测量光学系统,该系统采用防尘设计,粉尘不会影响光学系统内部。如有粉尘,只需要定期擦拭清洁光学系统的镜头玻璃即可,方便维护。
3. 真空室的电子设计
真空环境中,和大气环境下有众多的区别,经过多次真空试验和现场应用,成功解决真空中电子器件的稳定性问题。
三:光密度在线监控设备的组成
1:设备分为三部分:探测系统、人机交互设备、电脑实时监控系统。
l 探测系统
主要包括光源,接收器和支架(测试点的多少,根据用户要求定制,测试点数一般是3的整数倍,如3、6、9、12、15等)。
l 人机交互设备
7寸LCD人机交互界面,显示各个测试点的透过率和光密度数据。
l 电脑实时监控系统(选配)
所有测试点数据的实时监控。包含实时显示、柱状图、上下阈值设定、实时曲线,越限报警等。透光率与光密度的显示可自由切换。
历史数据存储,分析和报表功能。整卷膜在其对应长度上,都有数据记录和分析。如果已知镀膜机的运行速度,可以出报表分析整卷膜在对应长度的光学指标,做到整卷膜镀层厚度和均匀性可追溯。
真空镀膜自动控制示意图
LS152整机1
真空镀膜光密度测试设备示意图
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