Energetiq光源是一款高亮度，高稳定、长寿命宽谱光源，采用革命性的光源技术——LDLS?激光驱
动光源技术，使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度，以产生高效的宽频谱光。具有高可靠性，
高性能，高亮度，长寿命等特点。其产品具有很宽的光谱范围，谱线包括软X 射线（SXR），远紫外
线（EUV）, 深紫外线（DUV）, 并覆盖从可见光到红外光区（IR），波长范围从 170nm到2100nm 以
上。无电极的 LDLS 技术可以产生少量，高亮度的等离子体，以获取高效的光源，并且延长了灯的
使用寿命。
部分型号参数：
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产 品 型 号 |
EQ-99-S |
EQ-99-FC-S |
EQ-1500 |
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光 波 范 围 |
170-2100nm |
170-2100nm |
170-2100nm |
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输 出 功 率 |
0.5W |
0.3W |
1.5W |
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数 值 孔 径 |
Up to 0.47 |
0.22 |
Up to 0.5 |
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光 源 寿 命 |
约10000 hrs |
约10000 hrs |
约10000 hrs |
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同 步 输 出 |
自由空间 |
灵活的光学界面，自由空间或者光纤接口， |
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光 源 重 量 |
0.7kg |
0.7kg |
5kg |
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光 源 尺 寸 |
82.3×85.7X76.2mm |
82.3×85.7×76.2mm |
160×142.2×218.4 mm |
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应用 |
紫外- 可见光光谱测定法 ，光学组件测试，显微镜照明，环境分析，材料表征，高性能液体色谱（HPLC），气相测量，长寿命灯的应用需求 |
紫外- 可见光光谱定法，光纤测试，高性能光谱学，高端成像，高性能液体色（HPLC），显微镜照明，环境分析和监测，材料表征和测试，气相测量，过程质量监测，长寿命灯的应用需求 |
紫外- 可见光光谱测定法，光电发射电子显微镜（PEEM ），圆二色性光谱学，原子吸收光谱学，材料表征，环境分析，高光谱成像，气相测量，高级显微镜 |
典型客户：计量院，九院，中科大，南京大学，浙江大学，科磊中国，福建物构所，不能一一列出敬请谅解。
电极激光驱动光源技术
Energetiq 自主研发的激光驱动光源（LDLS）技术使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度，以产生
高效的宽频谱光。使用传统的方法，如弧光灯，氘灯，当使用电极连接电源和等离子体时，灯的亮度，紫
外能量，使用寿命非常有限。无电极的LDLS 技术可以产生少量，高亮度的等离子体，以获取高效的光源，
光谱范围包括从深紫外到包括可见光及以上的谱线，并且延长了灯的使用寿命。
?革命性的新技术---连续激光等离子放电
?宽谱线，高亮度,从 170nm 到包括可见光区至1000nm 以上。
性能和特点优势
l 连续激光等离子体放电
l 极高亮度，波长完全覆盖从170nm 到所有可见光及以上的波长
l 解决了对灯需求的多样性（可代替氘灯，钨灯，氙弧光灯），简化光学系统
l 极好的空间稳定性，可重复测量
l 可在极短时间，或很长时间内有稳定的能量输出，可重复测量
l 长寿命，无电极工作，降低消耗成本，减少光路校准量
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