罗茨螺杆真空机组，是以罗茨真空泵为主泵，螺杆真空泵为前级泵的抽气系统，此机组过流部分没有任何液体作工作液，极限压力不受水温影响，对被抽工艺气体不产生二次污染，便于排出气体的回收。
由于主泵及前级泵均采用了干式真空泵，因此罗茨螺杆干泵真空机组具有以下主要特点：
* 泵腔内无油，对被抽系统无污染，可获得洁净真空。
* 泵腔内无油，非常容易实现对溶剂的回收。
* 罗茨泵泵腔全部镀镍层处理，螺杆泵泵腔镀镍层或PTFE涂层处理，可抽除水蒸汽、溶剂气体及多种腐蚀性介质。
* 因工作过程中无废油、废水的排放，对环境无污染。
* 对冷却水的要求较低，对于泵的冷却，普通的循环水即可满足要求，且冷却水量较小。
应用范围：
罗茨螺杆真空机组因节能效果明显，高真空区抽气量大，真空度高 , 是电工、电子镀膜、冶炼、热处理、干燥、蒸馏、制药、化工、等行业理想的抽气设备。特别适用于要求无油蒸汽污染的半导体行业，同时也适用于含有大量水蒸汽 及少量粉尘的场合。
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