由于工业废水处理臭氧发生器氧化技术具有很强的氧化性，它能氧化多种化合物，因此在水处理中得到了广泛的应用。
臭氧化法有以下特点：
(1)臭氧不仅具有良好的快速杀菌消毒特性，而且对有机和无机化合物具有极高的氧化能力，可以去除其他水处理过程中难以去除的物质。

(2)臭氧的反应是完全和迅速的，因此能够减少结构的体积。
残余臭氧可迅速转化为氧气，可提高水中的溶解氧，且效率高，无污泥产生，无二次污染。
在提高净化效果、杀菌消毒的同时，还能起到除臭除臭的作用。

制造臭氧所需的电力和空气无需储存和运输，臭氧氧化装置占用空间小，操作管理简单，特别适合于干式原水厂改善水质和增加水量。
采用工业废水处理臭氧发生器氧化技术较多，一般可分为：臭氧超声法、臭氧活性污泥法、臭氧膜处理法、臭氧混凝法、臭氧生物活性炭吸附法等。这两种处理方法对不同的废水都有优缺点，所以根据废水中的难降解物质和有毒物质选择不同的处理方法，以达到更好的处理效果。本文简要介绍了臭氧超声和臭氧生物活性炭的吸附方法。

2.1臭氧/超声检测
超声能有效降解废水中的难降解有机污染物，超声技术与臭氧技术的结合可以提高降解有机物的效率，降低运行费用。DAHI在l976年就已经发现超声可以强化处理臭氧废水，他在使用20kHz超声强化臭氧处理生物污水处理厂出水时发现，这种技术可以将臭氧排放降低50%。

2.2臭氧吸附/生物活性炭。
O3-BAC是一种把臭氧化学氧化与活性炭物理、化学吸附及生物氧化降解技术结合在一起的新工艺。本发明具有处理费用低，有机物去除率高，效果稳定的特点。
通过臭氧氧化，原水可将大分子有机物分解为小分子有机物，提高其可生成性，并可提供足够的氧气，从而使这些有机物更容易被活性炭吸附，而被吸附的有机物又可为炭床内微生物的生命活动提供养分；同时，好气微生物因充分供氧而在活性炭表面繁殖生长成生物膜，以降解被吸附的小分子有机物。这样可使活性炭在炭床上同时吸附和微生物降解，从而大大提高活性炭的使用寿命和效率。