产品可去除工件表面的油污及其他有机物、除胶、去
金属离子等。 1.设备由五大部分组成:清洗槽部分、
伺服系统及
机械臂部分、层流净化系统、电气控制系统、
机架及整机。
2.清洗槽部分由
有机溶剂槽、去离子
水槽、酸槽或碱槽等组成。
3.关键件采用进口件,包括
气动阀,PFA管道,全氟循环系统,保证工作介质(酸、碱)的洁净度,避免杂质析出。
4.工艺过程全自动,
机械手在槽间的转换由两套伺服系统控制,可存储多条工艺时序,方便使用。 5.人机界面为
触摸屏,方便直观。
6.除装片和取片需人工外,其余工艺动作均可自动完成,适用于连续批量生产。
7.工作区设净化装置,内设
高效过滤器,满足工作区净化要求(1000-100级,10级为特制)
8.界面中有故障报警、安全保护、工艺时序号等功能。