自动系统采用触摸屏+PLC或PC+PLC进行控制，可以实现真空抽气系统、电源控制系统、气体压力和进气系统、参数报警系统等的自动化控制，对镀膜过程中的各参数进行控制。
中频磁控离子镀膜机
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