蒸汽法清洗又分为水蒸汽清洗和溶剂蒸汽清洗两种，水蒸汽清洗是一种比较普遍而又简单的清洗工艺。主要利用蒸汽的热气流蒸发到零件的表面，并充分与表面的油污接触，让蒸汽把油化成雾状小滴和蒸汽混合，然后一起带出，达到除油的目的。由于水蒸汽的温度高，有一定的压力和冲击力，所以有一定的效果，在含油较少的表面效果显著。

溶剂蒸汽清洗则是一种有机溶剂蒸法的蒸气进行清洗的方法。基本上属于溶剂浸泡溶解作用清洗的原理。由于溶剂的温度高，且蒸发时形成气流把油污溶解并带走。

二氧化碳清洗是各种精密零件清洗方法中较成熟、应用**广和有可能在常规表面清洗工程中推广应用得环保无污染方法。二氧化碳清洗法又分为超临界二氧化碳清洗和“雪状”二氧化碳清洗两种类型。这种类型的清洗机理和操作方法都有所区别，但与二氧化碳的状态和特性有关。

在常压和不太高的压力下，随着温度的升高，二氧化碳分别为固态、液态和气态。

超临界二氧化碳流体是温度和压力都超过临界点时的压缩气体，它具有液体的一些的特点，又与液态二氧化碳有重要区别。超临界二氧化碳无气|液界面，也没有表面张力，且其压缩率和折射率与液体和气体均不相同。超临界二氧化碳具有粘度低、流动性好和扩散性强等特点。它对流质有较强的溶解能力，是非极性油类的极好溶剂，而且容易渗透到材料表面的空隙处和凹陷的部位。这些特性使超临界二氧化碳成为良好的表面清洗剂                 RPS-5I耐磨防锈纯锰系磷化剂（72h盐雾）  

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