产品特性：
? 金属,合金,非金属,化合物等材料的高品质蒸发镀膜
? 镀膜精度高,可达10E-10m
? 蒸发镀膜的纯度高,附着力强
? 镀膜的均匀性好,重复性优异
? 配置离子源进行表面处理
? 配置热阻蒸发,省材料
? 上位通信,材料扫描功能
? C2～12inch,不定型片,方片蒸发
产品应用：
? 功率器件
? LED
? 光通信/传感器
? LD
? 高校及研究所等
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