产品简介: 它是一种多室型溅射装置,可以配备多个处理室(*多3个腔室200E,*多5个腔室200J和*多7个腔室200) 产品特性: ? 可运输Φ200mm板 ? 作为处理室的各种模块的阵容 ? 介电模块 ? 高温成膜模块 ? 精密分配模块 ? 蚀刻模块 产品应用: ? 电子零件 ? 微机电系统 ? 动力装置 ? 发光二极管
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