本设备由于采用了超高真空密封技术，极限真空高，恢复工作真空时间短；整机主要采用金属密封技术及超高真空阀门，前后开门采用氟胶圈，真空管路用不锈钢金属波纹管路，避免了传统结构带来的安装维护困难的问题。

   二、设备的主要配置及性能：

   蒸镀室配置：

   1、真空获取系统：

   1200L/S分子泵、KF40高真空截止阀、KF40波纹管管路、KF40不锈钢三通、KF40真空充气阀、高低真空计、CF200超高真空气动闸板阀一台、CF35超高真空气动角阀一支以及9L/S机械泵机组一套；

   2、镀膜样品载台：

   升降、旋转（含样品挡板）一套，升降、旋转功能可通过PLC控制系统进行控制；

   3、真空主机部分：

   主体采用304不锈钢，焊接后，对真空腔体进行表面处理，为亚光电解处理，前后门一套；

   4、镀膜检测系统：

   配备2支水冷晶振探头，一台自动控制膜厚仪；

   5、蒸发源：

   多套金属蒸发源（含控制电源）

   6、其他组成部分：

   主体承载机架一套、CF100观察窗组件一套、烘烤照明系统一套以及其他真空部件

   蒸镀室性能：

   高真空多功能蒸发设备主体均为优质不锈钢制造，耐腐蚀、抗污染、漏率小;设备电控部分采用了先进的检测和控制系统，配置了较先进的PLC触摸编程控制，为用户做多层膜提供了良好的设备功能保证，且保证了设备各功能的稳定和方便操作。性能稳定、可靠；设备布局合理，提高了利用率和稳定性，减少了对环境的干扰；控制面板的设计考虑了美观和适用的结合，使面板操作指示明确，观察舒适、操作方便。

三、主要技术参数:

   1、极限真空度: ≤5×10-5