磁控溅射

商家:: 沈阳美济真空科技有限公司
认证:: 普通商家
参考价:: 面议

地区:: 辽宁 - 沈阳
类别:: 机械
品牌:: 美济真空科技
产地:
型号:

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产品描述

更新于 2018-12-12 15:14:55 关注度：27 查看商家信息

1、基片尺寸：≥110×110mm，基片加挡板。
2、基片台：基片台旋转，转速0-25rpm连续可调，光控定位；
衬底加热：采用真空**加热器，室温～1500℃可调可控；
反溅清洗；采用射频电源对基片表面进行“清洗/活化”；
3、基片架转速0～25转/分，可控可调。
4、基片架可加热、可旋转、可升降。
5、靶面到基片距离60～90mm可调。
6、Ф3英寸圆形平面磁控溅射永磁靶；可镀铁磁材料的磁控溅射靶1支，可镀普通靶材的磁控溅射靶1支；靶材尺寸Ф3英寸。
7、镀膜室极限真空：≤5×10-5Pa，抽至 10-4Pa≤20min；。
8、速率和膜厚监控：石英晶振膜厚仪，在线监测蒸发速率，监控膜厚；厚度监测范围：1?～99999?，分辨率1?；速率监测范围：0.1?～99.9? /s，分辨率0.1?；

以上是磁控溅射的详细介绍，包括磁控溅射的厂家、价格、型号、图片、产地、品牌等信息!

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