磁控溅射与蒸发镀膜

商家:
沈阳美济真空科技有限公司
认证:
普通商家
价格:
面议
地区:
辽宁 - 沈阳
类别:
机械
品牌:
美济真空科技  
产地:
 
型号:
 
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产品描述

 更新于 2018-12-12 15:16:56 查看商家信息

    磁控溅射设备性能参数:

    1、极限真空:2×10-6Pa。可镀最大直径4英寸基片一片。恢复真空:从大气到7×10-4Pa ≦30min(新平台充干燥氮气)。平台总体漏率:关机12小时真空度≤1Pa。

 

    分子束外延设备性能参数:

    1、极限真空:5×10-7Pa。(配400L/S离子泵及2000L/S升华泵后极限真空可达2×10-8Pa)可镀最大直径4英寸基片一片。恢复真空:从大气到7×10-4Pa ≦40min(新设备充干燥氮气),设备总体漏率:关机12小时真空度≤0.2Pa。

以上是磁控溅射与蒸发镀膜的详细介绍,包括磁控溅射与蒸发镀膜的厂家、价格、型号、图片、产地、品牌等信息!
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