适用于2″~8″硅片的腐蚀
1.概述:本设备为柜体式腐蚀机,整台设备均采用进口件。
2.基本材质:箱体材质:德国磁白色聚丙烯(PP);门板材质:德国透明聚氯乙烯(PVC);腐蚀槽材质:德国自然色聚偏二氟乙烯(PVDF);清洗槽材质:德国自然色聚丙烯板(NPP);
3.本设备的腐蚀槽和清洗槽间的转换由进口SEW驱动,以迅速实现两槽之间的硅片转换。
4.腐蚀槽配有美国聚四氟乙烯加热器、虹吸上排、传感器。
5.清洗槽配有溢流装置,和N2鼓泡装置。
6.整机外型美观、实用。
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