磁控溅射

商家:: 沈阳美济真空科技有限公司
认证:: 普通商家
参考价:: 面议

地区:: 辽宁 - 沈阳
类别:: 机械
品牌:: 美济真空科技
产地:
型号:

给我留言 立即查看商家联系方式

商家有17个相似产品 上一条 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 下一条 切换到相册模式

产品描述

更新于 2018-12-12 15:12:04 关注度：27 查看商家信息

1总体介绍

1.1本系统为高真空磁控溅射镀膜设备，用于通过磁控溅射法沉积非金属与金属膜，用户可以根据工艺的需要选择单靶独立工作、四靶轮流工作或四靶任意组合共溅等工作模式。该设备由主腔室和预备室两个真空室组成。主腔室用于镀制薄膜，完成用户主要镀膜工艺过程。预备室通过高真空闸板阀与主腔室相连，可以用于镀膜前基片与镀膜后薄膜的等离子清洗，并可以在不破坏主腔室真空的条件下更换基片,样片载体为直线运动的传递机构。

2主要功能

2.1本系统一共有4块磁控溅射靶，都可以在中频或直流状态工作，溅射靶材可以根据用户的需求更换。

3基片

3.1.基片台、基片台加热机构：基片加热温度：室温～1000℃，旋转速度5～60转/分,可调；

3.2基片和基片加热机构可分别升降，便于基片加热和传送。

3.3磁控溅射室可镀**大有效尺寸≦Φ50㎜衬底一片，靶轴与真空室轴夹角70?靶面到衬底距离±50mm在线可调，偏摆可调±15°。极限真空：2×10-6Pa、恢复真空7×10-4Pa：30～40分钟（充干燥氮气）。

3.4工作条件：供电：～380V，冷却水循环量1m3/h，工作环境温度10℃～40℃。

以上是磁控溅射的详细介绍，包括磁控溅射的厂家、价格、型号、图片、产地、品牌等信息!

上一条下一条商家产品库 >>

产品信息

磁控溅射

产品描述

商家推荐产品

机械商家推荐

留言咨询

类别导航

地区导航